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의료용/특수가스
특수 가스 Speciality Gases
| ※ 특징 Feature | 특수가스는 일반 산업용도가 아닌 특수한 용도로 사용하기 위해 정제·혼합·추출·화학반응 등의 공정을 거쳐 제조된 고순도(99.99%이상) 및 초고순도 (99.999%이상) 가스를 의미하며 전자 · 반도체가스(Electronic & Semiconductor Gases), 표준가스dard Gases), 희귀가스(Rare Gases), 혼합가스(Miced Gases) 등이 큰 의미의 특수가스에 포함된다. |
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| ※ 전자·반도체용 특수가스 |
■ 종류 (Kinds) · 실란계열 :SiH4, SH6, SiF, SiCl4, SiCl3, SiH2Cl2 · 바론계열 : B2H6, BF3, BCi3, BBr3 · 수소화물계열 :GeH4, H2Se 등 · 할로겐계열 : F2, Ci2, NF3, SF6, WF6, HCI, HF, HBr, CIF3, Hi · 할로겐-탄화수소계열 : CHF3, CF4, C2F6, C3F8, C4F8, CHCI3 등 · 포르핀 : PH3 · 아르신 : AsH3 · 기타 : NH3, H2S, PF3, CH3F, CHCF2, POCI3, PF5, CHF3, CH3F, C4F8 ■ 공급순도（Supply Purity) · 99.99%~99.9999% ■ 공급방식 (Supply Modes) · 특수내면처리 고압실린더 (기체) : 10L, 20L, 40L, 47L 등 |
| ※ 순수특수가스 (Pure Gases) |
■ 종류 (Kinds) · 산소, 질소, 아르곤, 헬륨, 수소 ■ 공급순도(Supply Purity) · 고순도 (99.99%이상), 초고순도(99.9999%이상) ■ 공급방식(Supply Modes) · 특수내면처리 고압실린더 (기체) : 10L, 20L, 40L, 47L 등 · 고압실린더 (기체) : 10L, 20L, 40L, 47L 등 ■ 용도 (Usage) · 전자 · 반도체, 석유화학, 환경, 자동차, 전구 봉입, 연구분석기기 |
| ※ 희귀가스 (Rare Gases) | ■ 종류 (Kinds) · 제논(Cenon, Xe), 크립톤(Krypton, Kr) 네온(Neon, Ne) ■ 공급순도(Supply Purity) · 고순도 (99.99%이상), 초고순도(99.9999%이상) ■ 공급방식(Supply Modes) · 특수내면처리 고압실린더 (기체) : 10L, 20L, 40L, 47L 등 · 고압실린더 (기체) : 10L, 20L, 40L, 47L 등 · 초저온용기 : 200L, 500L 등 ■ 용도 (Usage) · 제논 : 조명기기, 의료, 레이저, 우주항공(이온엔진), 연구분석 등 · 크립톤 : 조명기기, 절연보안경, 불화크립톤레이저, 의료 등 · 네온 : 조명기기, 네온사인, 고압지시등, 플라즈마, 레이저 등 |
| ※ 표준가스 (Standard Gases) | ■ 종류 (Kinds) · 대기오염가시용 : CO/ HC / NOx · 매연측적용 : SO2 / NOx · 자동차배기가스 측적용 : CO / CO-H2 / CO2 /C3H8 / O2 / NO2 / n-C6H14 · 연구기구배기가스 측정용 : O2 / CO2 · 폐가스확산실험용 : SF6 · 석유화학공정용 : O2 |